Comparison of optical properties of TiO2 thin films prepared by reactive magnetron sputtering and electron-beam evaporation techniques

Brus, V. V.; Kovalyuk, Z. D.; Parfenyuk, O. A.; Vakhnyak, N. D.


	Наукова періодика України		Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics

Brus V. V.
Comparison of optical properties of TiO2 thin films prepared by reactive magnetron sputtering and electron-beam evaporation techniques / V. V. Brus, Z. D. Kovalyuk, O. A. Parfenyuk, N. D. Vakhnyak // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2011. - Vol. 14, № 4. - С. 427-431. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2011_14_4_11

The envelope method was used to determine optical constants of TiO2 thin films deposited by DC reactive magnetron sputtering and electron-beam evaporation techniques. The density and thickness of the thin films were calculated. Optical properties of the TiO2 thin films were strongly dependent on the deposition technology. The TiO2 thin films prepared by magnetron sputtering and electron-beam evaporation methods were established to be indirect band semiconductors with the band gap energies 3,15 and 3,43 eV, respectively.

Повний текст PDF - 239.525 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Brus V. V. Comparison of optical properties of TiO2 thin films prepared by reactive magnetron sputtering and electron-beam evaporation techniques / V. V. Brus, Z. D. Kovalyuk, O. A. Parfenyuk, N. D. Vakhnyak // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2011. - Vol. 14, № 4. - С. 427-431. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2011_14_4_11.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Брус Віктор Васильович (1987–) (технічні науки)

Ковалюк Захар Дмитрович (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача