Наукова періодика України Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics


Dan'ko V. A. 
Photostimulated etching of germanium chalcogenide films / V. A. Dan'ko, I. Z. Indutnyi, V. I. Myn'ko, P. E. Shepeliavyi, M. V. Lukyanyuk, O. S. Litvin // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2012. - Vol. 15, № 4. - С. 345-350. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2012_15_4_10
The new effect of photostimulated dissolution of as-evaporated and annealed Ge-based chalcogenide glass (ChG) films was investigated in detail. The etching rate increases with the illumination intensity, and its spectral dependence is correlated with absorption in the film at the absorption edge. A possible mechanism for the photoinduced etching of ChG films has been discussed. The high-frequency diffraction gratings on germanium ChG - more environmentally acceptable compounds than traditionally used arsenic chalcogenides - were recorded using the method of interference immersion photolithography with photoinduced etching.
  Повний текст PDF - 1.645 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Dan'ko V.
  • Indutnyi I.
  • Myn'ko V.
  • Shepeliavyi P.
  • Lukyanyuk M.
  • Litvin O.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Dan'ko V. A. Photostimulated etching of germanium chalcogenide films / V. A. Dan'ko, I. Z. Indutnyi, V. I. Myn'ko, P. E. Shepeliavyi, M. V. Lukyanyuk, O. S. Litvin // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2012. - Vol. 15, № 4. - С. 345-350. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2012_15_4_10.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Індутний Іван Захарович (1949–) (фізико-математичні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського