Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist

Dan'ko, V. A.; Dorozinsky, G. V.; Indutnyi, I. Z.; Myn'ko, V. I.; Ushenin, Yu. V.; Shepeliavyi, P. E.; Lukaniuk, M. V.; Korchovyi, A. A.; Khrystosenko, R. V.


	Наукова періодика України		Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics

Dan'ko V. A.
Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist / V. A. Dan'ko, G. V. Dorozinsky, I. Z. Indutnyi, V. I. Myn'ko, Yu. V. Ushenin, P. E. Shepeliavyi, M. V. Lukaniuk, A. A. Korchovyi, R. V. Khrystosenko // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2015. - Vol. 18, № 4. - С. 438-442. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2015_18_4_13

This study reports on development of the interference lithography (IL) technique applying the resist based on chalcogenide glass films for fabrication of gold chips in the form of periodic surface nanostructures for surface plasmon resonance (SPR) refractometers. The IL technique was optimized for patterning the Au layers and formation of one-dimensional (grating) structures with the spatial frequency close to 3300 mm<^>-1. The spatial frequency and depth of grating grooves were selected with account of the condition for Bragg reflection of plasmons at the operation wavelength of SPR refractometer and given environment (which is a condition for enhancing biosensor sensitivity as compared to that of a flat Au chip surface). It has experimentally been demonstrated that the use of diffraction patterns in SPR sensor increases its response by 17 %.

Повний текст PDF - 566.375 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Dan'ko V. A. Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist / V. A. Dan'ko, G. V. Dorozinsky, I. Z. Indutnyi, V. I. Myn'ko, Yu. V. Ushenin, P. E. Shepeliavyi, M. V. Lukaniuk, A. A. Korchovyi, R. V. Khrystosenko // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2015. - Vol. 18, № 4. - С. 438-442. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2015_18_4_13.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Індутний Іван Захарович (1949–) (фізико-математичні науки)

Луканюк Марія Василівна (фізико-математичні науки)

Корчовий Андрій Адамович (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача