Наукова періодика України | Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics | ||
Steblova O. V. Transformation of SiOx films into nanocomposite SiO2(Si) films under thermal and laser annealing / O. V. Steblova, A. A. Evtukh, O. L. Bratus', L. L. Fedorenko, M. V. Voitovych, O. S. Lytvyn, O. O. Gavrylyuk, O. Yu. Semchuk // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2014. - Vol. 17, № 3. - С. 295-300. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2014_17_3_17 Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Steblova O. V. Transformation of SiOx films into nanocomposite SiO2(Si) films under thermal and laser annealing / O. V. Steblova, A. A. Evtukh, O. L. Bratus', L. L. Fedorenko, M. V. Voitovych, O. S. Lytvyn, O. O. Gavrylyuk, O. Yu. Semchuk // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2014. - Vol. 17, № 3. - С. 295-300. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2014_17_3_17.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |