Наукова періодика України Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка

Bogdanov R. 
Zoned target in the experimental investigation of the magnetron sputtering device with two erosion zones / R. Bogdanov, O. Kostiukevych // Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка. Радіофізика та електроніка. - 2013. - Вип. 2. - С. 7-11. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/VKNU_Rte_2013_2_4
Побудовано комп'ютерну модель магнетронного розпилювального пристрою з двома зонами ерозії, засновану на методі Монте-Карло, де введено алгоритм пошуку самоузгоджених стартових позицій вторинних електронів на катоді. Для перевірки результатів комп'ютерного моделювання виготовлено зоновану тестову мішень для даного магнетронного розпилювального пристрою, яка забезпечила вимірювання розподілів розрядного струму по своїй поверхні. Порівняння результатів експерименту та моделювання показали їх відповідність за однакових умов.
  Повний текст PDF - 517.839 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Bogdanov R.
  • Kostiukevych O.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Bogdanov R. Zoned target in the experimental investigation of the magnetron sputtering device with two erosion zones / R. Bogdanov, O. Kostiukevych // Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка. Радіофізика та електроніка. - 2013. - Вип. 2. - С. 7-11. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/VKNU_Rte_2013_2_4.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського