Отмечено, что карбидкремниевые сенсоры занимают важный сегмент рынка приборов для экстремальных условий применения. Показано, что одним из оптимальных полупроводниковых материалов для измерения температуры и скорости потока является поликристаллический SiC кубической модификации, легированный в процессе низкотемпературного роста акцепторной примесью бора 3СSiC(В). Цель работы - разработка термоанемометра на основе 3СSiC(В) и изучение его характеристик. Датчики скорости и температуры анемометра изготовлены из одного блока в виде пластинок площадью 1 x 1 мм<^>2 и толщиной 200 - 300 мкм. Определены градуировочные характеристики датчика сопротивления до 700 К и анемометра в диапазоне температур (290 - 410) К. Температурный коэффициент сопротивления составляет 3,5 x 10<^>-2 град<^>-1 при Т = 300 К. С помощью анемометра проведено измерение полей температур и скоростей конвективных потоков воздуха, создаваемых нагретой пластиной. Точность измерения скорости потока составляет 0,1 м/с, а температуры 0,1 <$Esymbol Р>С с разрешением 2 мм.

  Повний текст PDF - 664.083 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"