Розглянуто стан сучасної фокусної детекції, різні методи принципу фокусування, переваги та недоліки цих методів. Детально проаналізовано принцип роботи фокусного сенсора та його характеристики. Наведено наочний приклад використання фокусного сенсора як нуль-індикатора та переваги його використання над іншими видами сенсорів у нановимірюваннях.Рассмотрены состояние современной фокусной детекции, различные методы фокусировки, преимущества и недостатки этих методов. Детально проанализированы принцип работы фокусного сенсора и его характеристики. Приведен наглядный пример использования фокусного сенсора в качестве ноль-индикатора и преимущества его использования перед другими видами сенсоров в наноизмерениях.As part of this study was to examine the current state of contemporary focus detection, considered various methods of focusing principle, advantages and disadvantages of these methods. The detailed analysis of the principle of focus sensor and its characteristics. An illustrative example of using the sensor as a focal zero-indicator and its advantages over other types of sensors in nano measurements.

  Повний текст PDF - 348.673 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"