Наведено огляд та аналіз сучасних засобів наноскопії. Обгрунтовано використання растрових електронних мікроскопів як засобів вимірювання лінійних розмірів нанорозмірних об’єктів. Розглянуто основні засоби та методи оцінювання характеристик точності растрових електронних мікроскопів.Проведен обзор и анализ современных средств наноскопии. Обосновано использование растровых электронных микроскопов как средств измерения линейных размеровнаноразмерных объектов. Рассмотрены основные средства и методы оценивания точностных характеристик растровых электронных микроскопов.Modern instruments for nanoscopy were reviewed and analyzed. Substantiated usage of scanning electron microscopes as instruments for nanoscale objects linear dimensions measuring. Considered basic instruments and methods for scanning electron microscopes accuracy characteristics estimation.

  Повний текст PDF - 814.186 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"