Gредставлены результаты исследования многослойных покрытий TiN / MoN. Покрытия были получены с использованием вакуумно-дугового нанесения. Толщина периода наноразмерных слоев в покрытиях составляла <$Elambda~=~8,~25,~50> и 100 нм. Общая толщина покрытий составляла до 864 мкм. Образцы изучались с помощью РЭМ, ПЭМ, ЭДС, РОР, РСА, МСВИ и наноиндентирования. Фактические значения толщин образцов оказались несколько большими ожидаемых (в большинстве случаев примерно на 25 %). Обнаружено формирование двухфазной системы: стехиометрический TiN (ГЦК) и кубический <$Egamma>-Mo2N (ГЦК). Максимальные значения твердости и модуля упругости получены для покрытия с <$Elambda~=~8> нм: H = 47 ГПа, E = 470 ГПа. Рассчитаны индекс пластичности и его зависимость от периода слоев (<$Elambda>). Наиболее пластичным покрытием оказался образец с H/E = 0,1.

  Повний текст PDF - 1.124 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"