Проведено перше і ретельне порівняння чутливості найбільш часто використовуваного покриття PMMA 950K до впливу як електронів, так і іонів галію в широкому діапазоні доз опромінення за однакової енергії пучка. Було встановлено, що покриття PMMA 950K має позитивну чутливість 0,15 мкКл/см<^>2, і приблизно на три порядки більш чутливе до іонів галію, ніж до електронів в тих самих умовах. За високих доз опромінення іонами галію, а також у разі опромінення електронами спостерігається негативна чутливість. Також вивчали глибину травлення покриття PMMA 950K після його травлення в розчиннику залежно від дози опромінення. Виходячи з цього, було запропоновано аналітичну модель з використанням густини поглинутої енергії у формі зміщеного гаусіана, яка надала змогу відновити контрастність покриття PMMA 950K та енергетичну довжину за експериментальними даними. Запропонована модель точно описує як експериментальні результати, так і результати моделювання. Було показано, що контрастність для покриття PMMA 950K становить <$Egamma> ~ 3,1 для енергій іонів галію, а енергетична довжина є рівною <$EL sub e ~=~43> нм.

  Повний текст PDF - 214.476 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"