Досліджено здатність нанокристалічних плівок SiC виявляти озон у атмосферній суміші під атмосферним тиском за концентраціями озону 0,1 мг/м<^>3 (максимально допустима концентрація) та 4,0 мг/м<^>3. Коефіцієнт чутливості до озону S (O3) оцінювали за формулою <$ES( roman O sub 3 )~=~(R sub g ~-~R sub a ) "/" R sub a>, де Rg і Ra - плівкові опори за наявності та відсутності озону в атмосфері повітря відповідно. Об'ємна витрата озоно-повітряної суміші становила 2 л/хв. Вивчено температурну залежність коефіцієнта чутливості до озону S (O3) в інтервалі температур <$E100~-~450~symbol Р roman C>. Було встановлено, що максимальні значення S (O3) + 0,71 та - 0,80 спостерігалися за температур <$E280~symbol Р roman C> та <$E330~symbol Р roman C> відповідно для обох концентрацій озону. Крім того, встановлено, що S (O3) мав позитивний знак за температури <$E280~symbol Р roman C> і негативне значення за <$E330~symbol Р roman C>. Різна полярність зміни опору плівки за заданих температур була зумовлена різним співвідношенням окиснювально-відновлювальних реакцій озону з атмосферними газами на поверхні плівок nc-SiC. Обидві температури можна використовувати для детектування озону за допомогою датчиків на плівках nc-SiC, однак, з точки зору зниження споживання енергії, температура <$E280~symbol Р roman C> виглядає більш переважно.

  Повний текст PDF - 685.876 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"