Вплив відпалювання на зернограничну структуру легованих фосфором полікремнієвих плівок, що одержано за методом хімічного осадження з газової фази, було проаналізовано шляхом проведення порівняльного аналізу даних атомної силової мікроскопії та існуючих модельних уявлень. Показано, що вирішальним фактором для застосування топографічної моделі є характер росту зерен у плівках. Модель застосовна для температур відпалювання <$Esymbol Г~1000~symbol Р roman C>, за яких спостерігається нормальний ріст зерен. Розподіли для різних типів границь зерен для полікремнієвих плівок є симетричними по відношенню до зростаючих та зникаючих границь. Структура полікремнієвих плівок рівновісьова, переважна орієнтація відсутня. За температур відпалювання <$Esymbol У~1000~symbol Р roman C> у плівках має місце аномальний ріст зерен, і розподіл типів границь зерен свідчить, що в даному температурному інтервалі топологічна модель є неприйнятною. Можна припустити, що відмінності у співвідношеннях зростаючих і зникаючих границь зерен в полікремнієвих плівках за різних температур відпалювання зумовлені різними механізмами та рушійними силами росту зерен за нормального та аномального росту. У разі нормального росту зерен переважною є рушійна сила, що зумовлена різницею густин дислокацій в суміжних зернах. При аномальному рості зерен переважає рушійна сила, яка зумовлена різницею середньої поверхневої енергії зерен, що призводить до різкого збільшення швидкості росту зерен.

  Повний текст PDF - 533.987 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"